無(wú)塵車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)所使用的粒徑的測(cè)量單位是微米，1微米等于百萬(wàn)分之一米。

    無(wú)塵車(chē)間的級(jí)別是按其空氣潔凈度劃分的，美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)209A至D的無(wú)塵車(chē)間分級(jí)最容易理解，但該等級(jí)正被最新版本E所取代，后來(lái)又被ISO-14644-1所取代，盡管如此，老版本仍被廣泛采用，在聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)的老版本中（A至D），大于等于0.5um粒子的數(shù)量是按每立方英尺空氣計(jì)數(shù)的，并以此計(jì)算和劃分無(wú)塵車(chē)間的等級(jí)，而最新的聯(lián)邦209E標(biāo)準(zhǔn)采用了公制，到1999年，頒布了ISO 14644-1，該標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)被歐洲所有國(guó)家采用，并逐淅為世界其他國(guó)家所采用。

    本書(shū)中采用的是ISO 14644-1的無(wú)塵車(chē)間分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，并在括號(hào)中注明了FS-209的相應(yīng)級(jí)別。

    聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209早期版本（A至D）

    聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209于1963年在美國(guó)首先公布，其名稱(chēng)是“潔凈室和工作站（受控環(huán)境）技術(shù)條件”，到1966年做了更改（209A），1973年更改為版本本B,1987年改為版本C,1988年改為版本D,1992年改為版本E。

    聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E

    聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E的室內(nèi)懸浮粒子濃度以公制單位即每立方米表示，潔凈級(jí)別則為每立方米大于等于0.5um懸浮粒子濃度之對(duì)數(shù)。

    ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)

    國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO正在制訂無(wú)塵車(chē)間的系列標(biāo)準(zhǔn)，它涵蓋了無(wú)塵車(chē)間的重要項(xiàng)目，例如設(shè)計(jì)、測(cè)試、運(yùn)行、生物污染等，1999年出版了其第一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-1，題為“空氣潔凈度等級(jí)”并給出了無(wú)塵車(chē)間分級(jí)方法。

    應(yīng)當(dāng)注意的是，無(wú)塵車(chē)間的ISO 14644-1級(jí)別與聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209的級(jí)別可以轉(zhuǎn)換，如果ISO標(biāo)準(zhǔn)的每立方米粒子濃度被35.2除，就轉(zhuǎn)換成每立方英尺的粒子計(jì)數(shù)。

    ISO 14644-1規(guī)定的占用狀態(tài)如下：

    “空態(tài)”：無(wú)塵車(chē)間所有設(shè)施要安裝完畢并在工作，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備，材料或人員在場(chǎng)。

    “靜態(tài)”：無(wú)塵車(chē)間怕有設(shè)施在運(yùn)行，生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢并以供需雙方同意的方式運(yùn)行，但無(wú)人員在場(chǎng)。